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真空系统漏气是由各种各样的微小缝隙造成的。(如玻璃真空系统中烧结的地方夹有脏物微小的炸裂；金属真空系统中的焊缝，可拆卸部位；电真空器件多半在金属和玻璃封接，金属陶瓷封接的地方等等)
真空系统的漏气不是肉眼可以判断的，所我们可以通过将真空系统抽气，到达一定压强后，关闭阀门，让系统与泵隔断，然后测量压强的变化。通过压强变化的曲线来区分是哪种原因造成真空系统达不到极限压强。以必须借助一定的方法来判断真空系统是否漏气。
(1)a压强保持原来的值不变。说明容器既不漏气亦不放气。
(2)b压强开始上升很快后来呈现饱和状。说明主要是放气。
(3)c压强直线上升，说明主要是漏气。
(4)d压强开始上升的很快，后来变得较，但不出现饱和的情况，这是上述两种情况的综合，即同时存在放气和漏气。
判定了真空系统漏气后，就可以着手寻找漏孔所在的位置，以及漏孔的大小。
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